公衍生
,
涂溶
,
後藤孝
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00391
采用激光化学气相沉积（LCVD）技术在氧化铝衬底上制备了高取向的TiNx薄膜,重点研究了激光功率（PL）、衬底预热温度（Tpre）和沉积总压力（Ptot）对薄膜取向和沉积速率的影响,采用X射线衍射（XRD）、俄歇能谱（AES）和场发射扫描电镜（FESEM）对薄膜组成和结构进行了表征.结果表明：所得到的TiNx薄膜成分均匀,其取向与衬底预热温度有关,随着预热温度的升高,TiNx薄膜的取向由（111）变为（200）,薄膜的取向与其微观结构一致.TiNx薄膜的沉积速率随着激光功率升高而增大,在PL=100W时,达到最大值90μm/h（沉积面积为300mm2）,显著高于采用其它方法制备的TiNx薄膜.
关键词:
TiNx薄膜
,
highspeed deposition
,
orientation
,
laser chemical vapor deposition (LCVD)
高卡
,
李双明
,
傅恒志
金属学报
doi:10.11900/0412.1961.2013.00766
采用恒速及跃迁减速定向凝固方法制备了Al-40％Cu(质量分数)过共晶合金,对金属间化合物初生Al2Cu相的组织及取向演化进行了研究.结果表明,当定向凝固速率恒定为10 μm/s,抽拉100 mm时,合金成分随着凝固距离的增大而减小,初生Al2Cu相枝晶由规则棱面V型转变为非棱面形貌,在抽拉距离80 mm附近消失,其生长方向由[110]方向转变为(121)晶面的法线方向;当定向凝固速率由10 μm/s跃迁减速至2μm/s时,合金成分在变速界面后随着凝固距离的增大先增大后减少,初生Al2Cu相枝晶由规则棱面V型变为非棱面长条状形貌而后消失,其体积分数先增大后减少,Al2Cu相的生长方向由[110]方向转变为平行于热流方向的[001]方向.定向凝固恒速与跃迁变速下初生Al2Cu相枝晶生长机制存在异同,凝固工艺参数成为影响枝晶最终组织形态和生长方向的主要因素.
关键词:
定向凝固
,
速率跃迁
,
金属间化合物Al2Cu相
,
取向
S.P. Li
,
S.X. Zhao
,
M.X Pan
,
D.Q. Zhao
,
and X.C.Chen (Institute of Physics
,
Chinese Academy of Sciences
,
Beijing 100080
,
China)
金属学报(英文版)
Dependence of the morphology of α(Al)-Mg2Si eutectic on the solidification velocity, and its orientation characteristics were investigated by thermoanalysis, directional solidification and electron diffraction techniques in this study.The eutectic morphology transformed from lamellae to rods with the increasing of the solidification velocity. Simultaneously, the orientation relationship changed from (100)Mg2Si/(100)Al;[110]Mg2si/[110]al to (011)Mg2si/(121)Al;[111]Mg2Si/[111]Al and (010)Mg2Si/(110)Al; [100]Mg2Si/[111]Al. Transformation of the eutectic morphology was related to the change of the preferred orientation of phase Mg2si.
关键词:
:α(Al)-Mg_2Si eutectic
,
null
,
null
